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旋片式真空泵與分子泵連接

旋片式真空泵與分子泵可以通過多種方式連接,具體取決于所需的真空級別和應用需求。

一種常用的連接方式是使用氣動隔離閥將旋片式真空泵和分子泵分開。該閥門通常被安裝在分子泵和真空室之間,以便隔離旋片式泵和分子泵的真空系統。這樣可以防止旋片式泵油污染分子泵,同時還可以使分子泵更好地保持高真空。該連接方式通常適用于需要高真空和潔凈度的應用。

另一種常用的連接方式是使用串聯連接。這種方式下,旋片式真空泵將作為分子泵的前級泵使用,以幫助分子泵在低真空時實現更高的抽氣速率。該連接方式通常適用于需要較高的真空級別和較大的抽氣速率的應用。

還有其他一些連接方式,例如旋片式泵和分子泵共享同一真空室,或者將旋片式泵作為分子泵的備用泵。在選擇連接方式時,需要根據具體應用要求和系統性能進行選擇。


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